局部放電時總會伴隨著聲發射現象，其產生的聲波在各個頻段都有散射。一般認為，當局部放電發生后，由于電場力的作用或壓力的作用，放電部位的氣體會發生膨脹和收縮的過程，這個過程將會引起局部體積變化。這種體積的變化，在外部產生疏密波，即產生聲波。

局部放電的種類有很多，有些在很低的過電壓下的局部放電幾乎不產生熱輻射，有些在很高的過電壓下局部放電則可能產生很強的熱輻射。從物理角度分析，當局部放電發生時，氣泡將會受到一個脈沖電場力的作用，同時，由于放電過程中存在很大的熱輻射的情況下，通道中的電弧電流產生的高溫將會在氣泡內產生一定的壓力。因此，局部放電過程中影響氣泡產生超聲波的主要因素有兩個：一是放電時刻的電場力，在較低電壓情況下，氣泡在脈沖電場力的作用下將產生為衰減的振蕩運動，在氣泡振動的作用下，周圍的介質中將產生超聲波；二是放電以后產生的熱引起氣泡膨脹而產生的壓力。當較高過電壓的情況下，氣泡在高壓下放電擊穿，形成很細的非均勻的火花通道，通道內的氣體被強烈電離和加熱，氣體的加熱引起放電通道的膨脹，其膨脹速度一般在聲速的數量級，經過幾個微秒的時間，放電通道橫截面達到它的最大值，即火花放電的增長過程。隨著能量的釋放，放電空間的電場強度減弱，最后放電熄滅。當下一次能量積累后，進行第二次放電。在實際的局部放電中，超聲波的產生往往是以上兩種因素同時作用的結果。