GIS局部放電會向周圍輻射出頻率高達300MHz-3GHz的電磁波，超高頻法就是利用傳感器接受這些電磁波，并對其進行分析的一種方法。通常局部放電的擊穿過程越快，輻射電磁波的頻率也就越高。超高頻法與其它局部放電檢測方法相比，具有許多優點。

首先超高頻法測量系統工作在超高頻波段，通常測取100MHz-2GHz頻率范圍內的信號(英國Judd等學者選用500MHz-1.5GHz的頻帶)，因而可有效地抑制頻率相對較低的空氣電暈產生的電磁干擾，提高信噪比?？諝庵械碾姇灧烹娔芰慷嗉性?00MHz以下頻率。

其次超高頻電磁波信號在SF6中傳播的衰減較小，例如：1GHz的超高頻信號在GIS構成的同軸波導中的衰減僅為3-5dB/km；同時在特定的條件下，比如對于500MHz-1.2GHz的高頻，由于連接門的電感和絕緣子孔的電容發生并聯諧振，使原本納秒級別的局部放電信號在時間上展寬至微秒，從而電磁波很容易輻射出來；此外，絕緣子的厚度會減弱屏蔽效果，增加電磁波的輻射，尤其是對于不帶金屬法蘭的絕緣子;這些傳播特性增強了系統靈敏度，能檢測到放電量很小的局部放電。

再次，利用電磁波的傳播特性，經合理裝設傳感器，然后根據超高頻信號到達放電源兩側的傳感器的時間差和電磁波的傳播速度就能計算出局部放電發生的部位，實現對放電源的準確定位。

此外，由于不同缺陷產生的局部放電具有不同的頻譜特性，超高頻法還可以根據這一特點對不同放電缺陷的類型進行識別。

根據測量頻率的帶寬，超高頻檢測可分為超高頻窄帶檢測和超高頻超寬頻帶檢測。前者中心頻率在500MHz以上，帶寬十幾MHz或幾十MHz，后者帶寬可達幾GHz。由于超高頻超寬頻帶檢測技術有噪聲抑制比高、包含信息多等優點受到人們的關注，通常所說的超高頻檢測技術即指超高頻超寬頻帶檢測。

超高頻信號是通過安裝在GIS上的傳感器來獲得的，根據安裝方式的不同傳感器可分為內置式和外置式兩種。內置傳感器可獲得較高的靈敏度，同時也有利于抑制GIS外部的干擾，但受GIS自身機構的影響通常安裝位置具有一定的局限性，且需要在GIS出廠前安裝。比如德國西門子公司500kV的GIS，因為其盆式絕緣子帶有金屬法蘭，使得UHF信號不易逸出，所以出廠前基本都安裝了內置傳感器。其目的一是滿足現場交接試驗時局部放電測量的需要（IEC-62271規定220kV以上電壓等級的GIS可以只做絕緣耐壓和局放測量），另一個就是滿足運行后的局部放電監測的需要。雖然內置傳感器的安裝不影響GIS的主絕緣，但密封面的增多增加了GIS發生氣體泄漏的概率。下圖顯示的是有西門子公司研制的內置傳感器。

西門子GIS UHF內置傳感器

韓國曉星公司研制的超高頻傳感器