在1966年，BAILEY估計在固體電介質空腔中的局放源脈沖的持續時間在十億分之幾秒之間，這一假設已經在1981年由FUJ工MOTO和BOGGS的實際測量所證實，在1982年BOGGS和STONE也證實了這一假設，他們使用了高達1GHz的高速示波器技術。

20世紀80年代初期英國中央電力局(Central Electricity Generating Board CEGB)提出用超高頻法檢測GIS的絕緣狀況，并于1986年由Scottish Power應用該方法對英國的Torness 420kV的GIS設備進行監測。Torness電站的多年運行經驗驗證了該方法的可行性，使超高頻法得到了行業的認可。

與其他局放檢測方法相比，超高頻法具有靈敏度高、可識別故障類型及進行定位等優點，成為近20年來的GIS故障檢測的研究熱點之一。在國外，以英國Strathclyde大學、德國Stuttgart大學、荷蘭Delft大學和日本Nagoya大學的研究工作最為突出。另外還有一些大型電力設備制造公司，如英國的Rolls Royce工業電力集團、德國的Siemens AG、瑞士的ABB、法國的ALSTOMT&D和日本的Mitsubishi等公司也都積極參與了超高頻法的研究和推廣，加速了該技術的發展和應用。在英國有Strathclyde大學與NGC和Scottish Power plc聯合開發的一套基于時域分析具有自動模式識別的超高頻監測系統DMS（Diagnostic Monitoring Systems），在日本有Hitachi公司開發的基于頻域分析具有自動模式識別的超高頻系統UHF PDM，它們都已成功應用于GIS的出廠檢測和運行監測。

在國內，超高頻檢測技術起步較晚，一些大學和研究所于20世紀90年代初期才開始對超高頻法進行研究，目前也取得了一定的進展。清華大學1995-1997年相繼研制和開發出基于UHF法的便攜式局部放電檢測儀和330KV GIS局部放電在線監測系統；系統采用外置超高頻傳感器，具有較強的實用性，能對放電源進行定位。西安交通大學的電力設備電氣絕緣國家重點實驗室于1998年研制一種超寬頻帶局部放電傳感器，并經網絡分析儀（HP8720C，掃頻帶寬20GHz）對其頻率響應特性進行測量證實效果較好。同時還有重慶大學、上海交通大學等高校對內置和外置UHF傳感器都做了相應的研究并做出了一定成果。