目前超高頻法是很受關注的一種局部放電檢測方法，主要集中在兩個方面：一個是對GIS進行局部放電的在線檢測，一個是對大型電機的在線檢測。

電力電纜絕緣系統內部的局部放電源可以看成是一個點脈沖信號源，即由放電產生電磁擾動，并隨時間變化而再空間產生的電磁波。該電磁波是時間和位置的函數，是一種橫向電磁波(TEM波)。由于電纜的同軸結構可以看作電磁波的波導，這種電磁脈沖可以沿著電纜傳播。在現場測量時，超高頻下距離傳感器較遠處的干擾衰減較快，且可以利用適當的方法進行識別，所以理論上超高頻技術適用于電纜及其接頭附件的在線檢測。值得注意的是，超高頻下信號的衰減要比低頻信號嚴重得多，一般只能在電纜中傳播幾百米，所以在線監測時要安裝多個傳感器而且盡量安裝在靠近電纜的接頭或端部處。

超高頻法是在靠近電纜的接頭或端部處安裝一種超高頻電容耦合器，檢測耦合器上耦合到的放電信號。這種方法需要在安裝耦合器的地方，剝去部分的電纜護套，將金屬箔貼在外半導電層上作為電極，被測量的電力電纜的阻抗與絕緣層的阻抗并聯，如圖所示，圖中沒有標出電纜的內外半導電層。信號由耦合器上的BNC頭取出，高頻接地端是外金屬屏蔽層。這種方法測量的頻率高，可達數百MHz，具有靈敏度高和抗干擾能力強等優點，但傳感器的安裝需要破壞電纜的外護套，在實際應用中受到限制。另外，該方法在測量頻帶的選取上還需要做進一步的研究。

國外有人將超高頻法應用于帶有螺旋結構接地屏蔽電纜的局部放電在線監測。其原理為：螺旋結構接地屏蔽電纜的局放脈沖為ns級，而接地屏蔽中局部放電電流脈沖可分為沿電纜方向分量和切向分量，后者產生附加軸向磁場，其磁力線接近電纜外皮，在電纜外屏蔽層上纏繞的線圈的凈磁通正比于切向電流，可以通過線圈上凈磁通的大小判斷局部放電量。此方法的局限性在于只能用于帶有(圖中D為剝去的電纜護套的氏度；D1為金屬箔和護套之間的距離；D2為金屬箔的寬度)螺旋結構接地屏蔽電纜，而且超高頻信號在電纜中衰減非常嚴重。因此傳感器與局部放電源的距離在10米以內時才有較好的靈敏度。可用于在線監測短電纜及電纜高壓附件。

超高頻電容傳感器示意圖