超聲波檢測法測量的是放電時產生的超聲波信號。用固定在變壓器油箱壁上的超聲傳感器可以接收到變壓器內部局部放電產生的超聲波，由此來檢測局部放電的大小及位置。通常采用的超聲傳感器是壓電傳感器，選用的頻率范圍為70-150kHz，目的是為了避開鐵心的磁噪聲和變壓器的機械振動噪聲。由于超聲波法受電氣干擾小以及它在局部放電定位上的廣泛應用，人們對超聲法的研究較深入。但變壓器內部絕緣結構復雜，各種聲介質對聲波的衰減及對聲速的影響都不一樣；目前使用的局放檢測超聲波傳感器抗電磁干擾能力較差，靈敏度也不很高，這就增加了超聲檢測的難度。

超聲檢測主要用于定性地判斷局部放電信號的有無，以及結合電脈沖信號或直接利用超聲信號對局放源進行物理定位。在電力變壓器的離線和在線檢測中，它是主要的輔助測量手段。隨著對局放超聲波測量研究的深入，有可能定量地分析放電強度及絕緣劣化程度。近年來，由于聲電換能元件效率的提高和電子放大技術的發展，超聲檢測的靈敏度有了較大的提高，因而該方法的發展應用還是非常有希望的。

GHPD-011超聲波局部放電測試儀